粗矽制純矽的化學方程式為：2C+SiO2==高溫==2CO+Si（得到粗矽）， Si+2Cl2==SiCl4，2H2+SiCl4==高溫==Si+4HCl（得到精矽）。矽為一種類金屬元素，用Si表示，其原子序數為14。矽為非常常見的一種元素，但是它很少以單質的形式出現在自然界裡，而是以複雜的二氧化矽或者矽酸鹽的形式，廣泛存在在砂礫、岩石以及塵土之中。用粗矽制精矽時，先用碳與二氧化矽反應得到粗矽，再用lv氣和粗矽反應得到四氯化矽，最後用氫氣和四氯化矽反應得到精矽。
